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이름 (주)나온테크 이메일 lsh@naontec.com
작성일 2008-01-16 조회수 6786
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제목
[디지털 이노베이션 대상]나온테크 "중소기업청장상"수상
나온테크 '다관절 로봇기구 EFFM 모듈'
중소기업청장상
최대 4개 핸드 독립적 구동


 
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반도체 및 LCD 생산 라인에서 공정 간의 물류 이송을 담당하는 로봇과 자동화 모듈을 개발해 공급하고 있는 ㈜나온테크 (대표이사 김원경, www.naontec.com)는 최근 다관절 로봇을 적용한 고속 EFEM 모듈을 개발하고 본격적인 마케팅 활동을 시작했다.
EFEM(Equipment Front End Module) 모듈이란 반도체 라인에서 카세트 내의 웨이퍼(Wafer)를 공정 모듈에 공급하는 공정장비의 표준 인터페이스 모듈로, 모든 공정 장비에 표준으로 적용되며 장비의 청정도 유지와 설비의 생산성에 큰 영향을 미친다.
이번에 개발된 EFEM 모듈은 다관절 로봇 기구를 적용해 로봇이 고정된 상태에서 로봇 팔을 좌우로 이동해 카세트 내의 웨이퍼를 이송할 수 있도록 만들었다.
또한 웨이퍼 이송용 핸드는 최대 4개의 핸드를 독립적으로 구동, 동시에 여러 장의 웨이퍼를 이송할 수 있어 생산성을 획기적으로 향상시켰다. 더불어 로봇이 이동하지 않고 고정돼 있어 저소음 저진동이며, EFEM 내부 청정도도 크게 향상됐다.
나온테크는 지난해 10월 개최된 로보월드에 전시한 후 본격적인 마케팅 활동을 벌이고 있으며 일부 반도체 장비 업체와 공급 계약도 체결한 바 있다.
또한 기존 반도체 장비와 라인에 공급하고 있는 웨이퍼트랜스퍼 로봇, 진공 로봇 등과 더불어 이 EFEM을 국산화 개발해 제품 라인업을 구축하고 반도체 라인의 반송 로봇과 자동화 모듈의 통합 솔루션을 제공하는 메이커로의 도약을 기대하고 있다.
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입력시간 : 2008/01/15 17:41:19

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